给 $n$ 个人，每人有 $5$ 科成绩，给出 $q$ 个成绩查询，输出 $5$ 科都比要查询的这 $5$ 科低的数目。

对于一个非空集合{$a_i$},我们称一个集合是 $magical$ 的,当且仅当它满足以下两个条件。

1:$a_1$ & $a_2$ &…& $a_n$ =0(&表示 $and$)

2:{$a_i$} 的任意一个除它本身外的非空子集不满足1。

小 $A$ 有一个很大很大的集合。很显然这个集合的子集数量是一个天文数字。

小 $A$ 现在想要知道这个集合的 magical 的非空子集数量是多少。

为了防止不必要的麻烦,请将答案 $mod$ $1e9+7$ 后输出。